img
Development of a selective wet-chemical etchant for precise 3D sculpting of silicon enabled by infrared non-linear laser modification
Yazarlar
Dr. Öğr. Üyesi Dilek IŞIK TAŞGIN
Çankaya Üniversitesi, Türkiye
Makale Türü Özgün Makale
Makale Alt Türü SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayımlanan tam makale
Dergi Adı Optics and Laser Technology
Dergi ISSN 0030-3992
Dergi Tarandığı Indeksler SCI-Expanded
Dergi Grubu Q1
Makale Dili İngilizce
Basım Tarihi 04-2024
Cilt No 176
Sayfalar 111022 / 111035
Doi Numarası 10.1016/j.optlastec.2024.111022
Makale Linki https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2024.111022