img
Optical and structural characterization of silicon nitride thin films deposited by PECVD
Yazarlar
Prof. Dr. İpek GÜLER
Çankaya Üniversitesi, Türkiye
Makale Türü Özgün Makale
Makale Alt Türü SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayımlanan tam makale
Dergi Adı Materials Science and Engineering B-Advanced Functional Solid-State Materials
Dergi ISSN 0921-5107
Dergi Tarandığı Indeksler SCI
Dergi Grubu Q1
Makale Dili İngilizce
Basım Tarihi 07-2019
Cilt No 246
Sayfalar 21 / 26
Doi Numarası 10.1016/j.mseb.2019.05.024
Atıf Sayıları
SSCI/AHCI/SCI/ESCI 0
Scopus Atıf Sayısı 0
Diğer Atıflar 0
Optical and structural characterization of silicon nitride thin films deposited by PECVD