| Yazarlar |
|
Atılım Üniversitesi, Türkiye |
|
Çankaya Üniversitesi, Türkiye |
|
Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Türkiye |
| Makale Türü | Özgün Makale |
| Makale Alt Türü | SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayımlanan tam makale |
| Dergi Adı | MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING |
| Dergi ISSN | 1369-8001 |
| Dergi Tarandığı Indeksler | SCI |
| Dergi Grubu | Q2 |
| Makale Dili | İngilizce |
| Basım Tarihi | 03-2020 |
| Cilt No | 108 |
| Atıf Sayıları | |
| SSCI/AHCI/SCI/ESCI | 0 |
| Scopus Atıf Sayısı | 0 |
| Diğer Atıflar | 0 |